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IoT/CPS【情報・通信・センシング技術】

比類ない高感度と柔軟な測定条件を実現
比類ない高感度と柔軟な測定条件を実現マイクロ波干渉法による超高感度強磁性共鳴測定装置●●スピンデバイスに不可欠な強磁性共鳴測定で、 世界最高の感度を達成●● 直径 100 ナノメートルの微小強磁性ディスクの測定に成功●● 装置の調整自動化により、 高信頼性、 高再現性の測定が可能にマイクロ波干渉計を用いた強磁性共鳴測定装置のブロック図マイクロ波干渉計を用いた強磁性共鳴測定装置のブロック図• 誘導型としては比類• 誘導型としては比類ない高感度を達成ない高感度を達成(下図参照)(下図参照)• 幅広い測定条件をカバー• 幅広い測定条件をカバー• 測定の自動化により• 測定の自動化により高信頼性、高再現高信頼性、高再現性の測定が簡便に性の測定が簡便に直径800 nm、厚さ5 nmのCoFeB単一ドットの強磁性共鳴測定結果直径800 nm、厚さ5 nmのCoFeB単一ドットの強磁性共鳴測定結果干渉計強磁性共鳴干渉計強磁性共鳴SS(arb.unit)unit)2121(arb.• 本発明による測定• 本発明による測定(上)は、従来(下)と(上)は、従来(下)と比較し100倍以上比較し100倍以上感度が向上感度が向上• これにより、従来不• これにより、従来不可能だと考えられて可能だと考えられていた、ナノサイズのいた、ナノサイズの試料の強磁性共鳴試料の強磁性共鳴測定が可能に測定が可能に従来法強磁性共鳴従来法強磁性共鳴● 関連技術分野:スピントロニクス、磁気、材料特性評価、材料物性、計測技術● 連 携 先 業 種:製造業(電気機器)、情報・通信業信号雑音比信号雑音比100倍以上向上!100倍以上向上!