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研究テーマ

IoT/CPS【情報・通信・センシング技術】

比類ない高感度と柔軟な測定条件を実現
比類ない高感度と柔軟な測定条件を実現マイクロ波干渉法による超高感度強磁性共鳴測定装置●●スピンデバイスに不可欠な強磁性共鳴測定で、 世界最高の感度を達成●● 直径 100 ナノメートルの微小強磁性ディスクの測定に成功●● 装置の調整自動化により、 高信頼性、 高再現性の測定が可能に研究のねらい 近年話題のスピントロニクスデバイスの開発において、強磁性共鳴 (FMR) 測定は、スピンの動きを直接評価するために欠かすことのできない測定です。対象とするデバイスが小型化するにつれ、従来の誘導型測定法では測定感度が不足するという問題がありました。我々は、FMR 測定にマイクロ波干渉法を適用し、感度を飛躍的に高めることに成功しました。研究内容 一般に強磁性共鳴(FMR) 測定では、試料に高周波信号(励起信号)を印可し、それに伴う信号(FMR信号)を測定します。従来の誘導型測定法では、励起信号とFMR 信号の両方が共に検出器に入るため、試料が小さくなると、信号の分離が困難になり、高感度化が不可能でした。本発明では、マイクロ波干渉法を用いて励起信号をキャンセルする事により、FMR 共鳴信号のみが検出器に入るように工夫し、誘導型の長所を損なうことなく飛躍的に感度を高める事ができました。マイクロ波干渉計を用いた強磁性共鳴装置のブロック図連携可能な技術・知財・強磁性共鳴測定装置・STT-MRAM セルの測定・評価・特開 2015-206641(2015/11/19)・本 研究の一部は、JST 戦略的イノベーションプログラム「3 次元磁気記録新ストレージアーキテクS21 (arb. unit)・HDD コンポーネントの測定・評価干渉計強磁性共鳴従来法強磁性共鳴信号雑音比100倍以上向上!チャのための技術開発」の支援を受けています。本発明 ( 上 )と従来法 ( 下 )による強磁性共鳴測定結果の比較● 関連技術分野:スピントロニクス、磁気、材料特性評価、材料物性、計測技術● 連 携 先 業 種:製造業(電気機器)、情報・通信業