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研究テーマ

IoT/CPS【設計・製造技術】

TFTの性能分布を光学イメージ化する新技術
TFT の性能分布を光学イメージ化する新技術高集積 TFT 回路の非破壊・一括検査技術●● 数百万個の TFT の性能分布を数分以内に非破壊・一括評価●●ディスプレイ、タッチパネル用バックプレーンの高速インライン検査が可能●● 800 ppi 以上の高精細パターンにも容易に対応開発技術ゲート OFF二次元検出器ソースゲート ONゲートTFT アレイ光透過率・反射率が変化 ゲート印加により生じるTFTの光透過率・反射率の微小変化を検出 TFTの動作特性を光学イメージ化することで複数素子を一括評価適用例ゲート変調イメージディスプレイ駆動回路(アクティブバックプレーン)素子欠陥配線欠陥TFT 取得イメージからTFTアレイの不良箇所や性能分布を評価 膨大な数のTFTについて数分以内での非破壊・一括検査を実現● 関連技術分野:半導体、イメージング、計測技術、ディスプレイ、プリンテッドエレクトロニクス● 連 携 先 業 種:製造業(化学)、製造業(電気機器)、製造業(精密機器)