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エネルギー・環境【再生可能エネルギー】
高効率結晶シリコン太陽電池の低コスト化イオン注入を用いた太陽電池の新しい作製技術●●イオン注入技術を結晶シリコン太陽電池セル作製プロセスに適用●● 拡散層の精密制御によるセルの高効率化●●プロセス工程数削減による低コスト化テクスチャー基板に対するイオン注入技術の検討・テクスチャー基板に適したイオン注入方法を開発・拡散層の精密制御による太陽電池セルの高効率化アモルファス層50nmリンのイオン注入を用いた太陽電池の作製・欠陥回復のためのアニール技術を開発・リンのイオン注入を用いたAl-BSF型セルで変換効率19.4 %保護膜n窒化膜シリコン基板p50nm● 関連技術分野：太陽光発電、デバイス、半導体、シリコン● 連 携 先 業 種：製造業（電気機器）、製造業（化学）1 µm
