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2016年

研究テーマ

エネルギー・環境【パワーエレクトロニクス】

次世代インフラ用超低損失パワーデバイスの実現
次世代インフラ用超低損失パワーデバイスの実現耐環境性に優れたダイヤモンド超低損失パワー半導体2●● 世界最大 40×60 mm 接合型単結晶ウェハを実現●●ショットキーダイオードの 250 ℃における高速・低損失動作実証●●ダイヤモンドの特異な物性を利用した新構造超低損失パワーデバイス開発大型単結晶ダイヤモンドウェハ「ダイレクトウェハ化」技術を開発。ダイヤモンドウェハの大量製造に目途。コピーウェハの接合技術を開発し、2インチ大の接合型ウェハを実現。低損失パワーダイオード250 ℃で高速動作・低損失のショットキーダイオードを開発。X線、γ線などが発生する厳しい放射線環境下でも破壊しない。ダイヤモンド特有の物性を利用した新構造パワーデバイス高濃度不純物ドーピングで深い不純物準位による問題を克服。負性電子親和力を利用したダイヤモンドダイオード(電子源)の開発。電子源を用いた新構造半導体真空パワースイッチの開発。● 関連技術分野:パワーエレクトロニクス、パワー半導体、ダイヤモンド、半導体プロセス● 連 携 先 業 種:製造業(機械)、製造業(電気機器)、製造業(精密機器)、製造業(化学)