産業技術総合研究所(産総研)の技術を幅広く紹介し、産総研シーズと企業ニーズのマッチングを図る情報サイト[テクノブリッジ On the Web]

ログイン

登録無料

会員登録

2016年

研究テーマ

材料・プロセス【機能性材料】

ナノキューブが次世代誘電デバイスを変える
ナノキューブが次世代誘電デバイスを変える高性能小型デバイス用単結晶ナノキューブ 3D 構造体●● 水熱合成法によるキューブ形状のチタン酸バリウム系ナノサイズ単結晶の開発●● 高誘電率を有する 3D 配列集積膜の作製プロセスを開発●●チタン酸バリウムナノキューブへの異種元素の固溶方法の確立溶液プロセスによる高誘電率チタン酸バリウムナノキューブ集積体引き上げ水熱合成~220 ℃1.040000.830000.620000.410000.20 310引き上げLateral capillary force基板5000104105Frequency (Hz)0850 ℃焼成体Dielectric loss (tanδ)• 水酸化バリウム• 水溶性チタン錯体• 界面活性剤• 有機添加剤Dielectric constant・水熱法による高分散チタン酸バリウム単結晶ナノキューブを合成・ディップコートプロセスによる高誘電率ナノキューブ集積体を開発106溶媒蒸発SurfactantsStep 2液膜Step 1断面図基板ナノキューブ分散液連続集積40 nm水熱合成による固溶体組成のナノキューブを開発・チタン酸バリウムナノキューブにジルコニウムの固溶を達成・高圧電特性とリラクサー的挙動に基づく新デバイス可能性を提示HAADF-STEM像HAADF-STEM像d33-PFM (pm/V)O_K60BZT0.1 NC453010nmTi_KZr_LBa_L0-1000-500-15-30-4510nm10nmBT NC1510nm10nm● 関連技術分野:セラミックス材料、ナノ材料、ナノクリスタル、誘電デバイス● 連 携 先 業 種:製造業(化学)、製造業(精密機器)-6005001000Poling field (E)