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材料・プロセス【計測・評価】
非球面レンズの加工精度向上に貢献精密加工を支援する高精度変位センサの正確な評価●● 10 pm 以下の精度で非線形性評価可能●● 持ち運びできる小型干渉計で汎用的な評価が可能●●リニアエンコーダーや静電容量センサの評価を実施干渉計モジュールを用いた評価装置干渉計モジュールを用いた評価装置10 pm以下の精度で非線形性10pm以下の精度で非線形性評価が可能評価が可能小型(W100 mm×D50 mm×小型(W100mm×D50 mm×H20 mm)で汎用的な干渉計をH20開発 mm)で汎用的な干渉計を開発リニアエンコーダや静電容量リニアエンコーダや静電容量センサの評価を実施センサの評価を実施変位センサ評価装置（リニアエンコーダ評価時）変位センサ評価装置（リニアエンコーダ評価時）リニアエンコーダ周期誤差の評価結果リニアエンコーダ周期誤差の評価結果リニアエンコーダの周期誤差リニアエンコーダの周期誤差±0.3 nmの検出に成功±0.3 nmの検出に成功非球面レンズの加工精度非球面レンズの加工精度改善等に貢献改善等に貢献リニアエンコーダ周期誤差（評価結果）リニアエンコーダ周期誤差（評価結果）● 関連技術分野：計測技術、ナノテクノロジー、加工技術● 連 携 先 業 種：製造業（精密機器）、製造業（機械）
