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材料・プロセス【計測・評価】
光を使った前処理不要の非接触型高速検査材料表面の微量元素を検出するレーザー技術●● 表面に付着した微量物質を大気圧条件下、 非接触で高速・高感度に検出●●レーザー集光照射により発生するプラズマの輝線分析による多元素同時分析●● 前処理不要であり、 製造ラインでの検査にも対応可能レーザーによる微量元素の検出方法レーザーによる微量元素の検出方法レーザー誘起ブレークダウン分光による多元素同時分析レーザー誘起ブレークダウン分光による多元素同時分析前処理不要の非接触型高速検査前処理不要の非接触型高速検査LIBS法の測定装置とその特徴LIBS法の測定装置とその特徴紫外レーザー光源紫外レーザー光源被検体被検体プラズマ発生プラズマ発生高感度分光検出装置LIBS検出装置の例高感度分光検出装置LIBS検出装置の例微量物質の検出実証・検出感度評価微量物質の検出実証・検出感度評価素輝線ピークの強度比に基づいた分析素輝線ピークの強度比に基づいた分析1cm2あたり１ gの表面微量物質を検出μ1cm2あたり１ gの表面微量物質を検出μ輝線ピークの強度比に基づいた解析0.4輝線ピークの強度比に基づいた解析Mg309 309nm nmMg288 288nm nmIntensityIntensity/ a.u./ a.u.Alピーク強度比ピーク強度比Si(288nm)/Al(309nm)Si(288nm)/Al(309nm)AlSiSi0.40.30.30.20.1270280290300Wavelength/nm280290300Wavelength/nm3103200310320基材中のSi0.10270表面汚染由来のSi表面汚染由来のSi0.2-10-10基材中のSi塗布量 / μg cm-21212塗布量 / μg● 関連技術分野：表面分析、多元素同時分析、レーザー誘起ブレークダウン分光● 連 携 先 業 種：製造業（化学）、製造業（輸送用機器）3434cm-2
