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IoT/CPS【情報・通信・センシング技術】

ナノグラム領域の質量を測ります
計量標準総合センター ナノグラム領域の質量を測りますキログラムの定義改定がもたらす新しい計測技術● 130 年ぶりのキログラムの定義改定で新しい質量測定が可能に● 電圧天秤(ボルトバランス)方式を用いた SIトレーサブルな質量測定● 微細加工技術によるミクロサイズの MEMS 電子天秤も開発中1mgを数ngの分解能で高精度に測定する微小質量測定法を開発䝪䝹䝖䝞䝷䞁䝇ἲ䛾ᇶᮏཎ⌮Ⲵ㔜஺᥮ᶵᵓ䝠䞁䝆‫۔‬㟼㟁ᐜ㔞䛾z᪉ྥ໙㓄䜢ᰯṇ䜹䜴䞁䝍䞊ෆ⟄䝯䜲䞁ෆ⟄䝅䞊䝹䝗⟄䝅䞊䝹䝗⟄‫۔‬㧗⢭ᗘ䛺㟁ᅽ※䛷ຊ䜢Ⓨ⏕12э =2䝺䞊䝄䞊ᖸ΅ィ㛤Ⓨ୰䛾䝪䝹䝖䝞䝷䞁䝇䝅䝇䝔䝮ボルトバランス法の原理を用いた微小な質量センサーの開発‫۔‬䝪䝹䝖䝞䝷䞁䝇ἲ䜢ᚤ⣽ຍᕤᢏ⾡䛷䝉䞁䝃䞊໬㢧ᚤ㙾䝺䞁䝈2mm䝘䝜䝢䞁䝉䝑䝖‫۔‬ng䡚ʅŐ䜸䞊䝎䞊䛾ᚤᑠ㉁㔞䜢SI䝖䝺䞊䝃䝤䝹䛻 ᐃྍ⬟ᚤᑠศ㖡‫۔‬䝘䝜䝢䞁䝉䝑䝖䛸⤌䜏ྜ䜟䛫䛯㢧ᚤ㙾ୗ㟁Ꮚኳ⛗䝅䝇䝔䝮MEMSᢏ⾡䜢⏝䛔䛯㢧ᚤ㙾ୗ㟁Ꮚኳ⛗䝅䝇䝔䝮䛾ᵓ᝿ᅗ● キ ー ワ ー ド:質量測定、医薬品、ナノグラム、MEMS、センサー● 連 携 先 業 種:製造業(医薬品)、製造業(化学)、製造業(精密機器)、医療・福祉業、製造業(食料品)山本 泰之・藤井 賢一・松本 壮平・藤田 一慧工学計測標準研究部門、集積マイクロシステム研究センター連絡先:計量標準総合センター 研究拠点:つくば