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オンウエハでミリ波帯のSパラメータを計測
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【情報・通信・センシング技術】
計量標準総合センター オンウエハでミリ波帯の S パラメータを計測平面回路計測技術● ミリ波帯における平面回路の S パラメータを世界最高精度で測定● 独自の測定用プローブの接触技術により測定の再現性を向上● 全自動高精度平面回路測定を実現し、 製造現場での製品評価への応用に期待RF-SD法により平面回路の評価精度を大幅に向上۔㢧ᚤ㙾䛿せ۔䝥䝻䞊䝤⨨Ỵ䜑⢭ᗘ䜢1 䝭䜽䝻䞁௨ୗ䛻䝥䝻䞊䝤䝟䝑䝗䝧䜽䝖䝹䝛䝑䝖䝽䞊䜽䜰䝘䝷䜲䝄䞊(VNA)10 䝭䜽䝻䞁ྠ㍈䜿䞊䝤䝹50 䝭䜽䝻䞁㢧ᚤ㙾ゎീᗘసᴗ⪅౫Ꮡᛶ䝥䝻䞊䝤ඛ➃㧗࿘Ἴ䝥䝻䞊䝤 ᐃᑐ㇟䝃䞁䝥䝹䝇䝔䞊䝆S䝟䝷䝯䞊䝍䛾 ᐃ⢭ᗘ0.010.0080.0060.0040.0020ᚑ᮶@10Gᚑ᮶@100GRF-SD@100G● キ ー ワ ー ド:デバイス計測、高周波、測定● 連 携 先 業 種:製造業(電気機器)、製造業(精密機器)、情報・通信業、電気・ガス・水道業、製造業(ガラス・土石製品)坂巻亮・堀部 雅弘物理計測標準研究部門連絡先:計量標準総合センター研究拠点:つくば