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IoT/CPS【設計・製造技術】
エレクトロニクス・製造領域 ミニマルファブクリーンルーム不要でデバイスを一つ一つ製造● ハーフインチウェハを使用して、デバイスを１個から製造● クリーンルームが不要な局所クリーン化搬送システム● 幅 30 cm の超小型製造装置群を開発、 多品種少量生産を具現化従来メガファブとミニマルファブの比較数m䝯䜺䝣䜯䝤 ᢞ㈨5,000൨つᶍ䜽䝸䞊䞁䝹䞊䝮200 m12䜲䞁䝏䜴䜵䝝䜽䝸䞊䞁䝇䞊䝒0.3 m䝭䝙䝬䝹䝣䜯䝤 ᢞ㈨5൨䜽䝸䞊䞁䝹䞊䝮せ20 mĸ䝝䞊䝣䜲䞁䝏䜴䜵䝝ᬑẁ╔セミコンジャパン2016会場のミニマルトランジスタ製造ライン● キ ー ワ ー ド：半導体工場、電子デバイス、ナノテクノロジー、省エネ・省資源● 連 携 先 業 種：製造業（その他製品）、製造業（電気機器）原史朗・前川仁・池田 伸一・クンプアン ソマワン・石田 夕起ナノエレクトロニクス研究部門連絡先：エレクトロニクス・製造領域 研究拠点：つくば、九州
