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研究テーマ

材料・プロセス【計測・評価】

  • オペランド計測で材料・デバイス開発を革新
  • 砂粒サイズの熱物性がわかる
  • ナノサイズの磁石まで検出できます
  • nmスケールでの微量元素分析
  • 知りたかったあの物性・・・測定します。
  • 大型基板の平面度も評価できます
  • ナノ変形の精密測定を実現!
  • 液中微粒子の個数、サイズ、成分を測る技術