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材料・プロセス【計測・評価】
エレクトロニクス・製造領域 nm スケールでの微量元素分析超伝導検出器を活用した X 線分光分析技術● 超伝導軟 X 線検出器とX 線光学系を組み合わせた分光システムを開発● 高感度（立体角 0.1 sr）・高元素選択能（エネルギー分解能 10 eV）を実現● 超伝導軟 X 線分光システムを搭載した走査電子顕微鏡で軽元素分析を実現高感度・高元素選択能を両立したX線分光システム㉸ఏᑟ㌾X⥺᳨ฟჾ䛸X⥺ගᏛ⣔䜢⤌䜏ྜ䜟䛫䛯ศග䝅䝇䝔䝮䜢㛤Ⓨ䚹㧗ឤᗘ䠖0.1 sr䚸㧗ඖ⣲㑅ᢥ⬟䠖10 eV䜢୧❧䚹᭦䛻䚸㛤Ⓨ䛧䛯ศග䝅䝇䝔䝮䜢ᦚ㍕䛧䛯㉮ᰝ㟁Ꮚ㢧ᚤ㙾䜢㛤Ⓨ䚹窒化硼素試料のX線分光分析◹⣲䚸Ⅳ⣲䚸❅⣲䚸㓟⣲䛺䛹䛾㍍ඖ⣲䛾≉ᛶX⥺䜢᫂░䛻ศ㞳䚹ᚑ᮶ ᐃฟ᮶䛺䛛䛳䛯㑄⛣㔠ᒓ୰䛾ᚤ㔞㍍ඖ⣲ศᯒ䛜ྍ⬟䛻䚹● キ ー ワ ー ド：計測技術、パワー半導体、耐熱材料、カーボン材料● 連 携 先 業 種：製造業（電気機器）、製造業（鉄鋼）、製造業（輸送用機器）藤井剛・志岐 成友・浮辺 雅宏ナノエレクトロニクス研究部門連絡先：エレクトロニクス・製造領域研究拠点：つくば
