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材料・プロセス【計測・評価】

大型基板の平面度も評価できます
計量標準総合センター 大型基板の平面度も評価できます大口径かつ高精度な平面形状測定装置● 角度測定を利用した大口径かつ高精度な平面形状測定装置● シリコンウェハー等の大口径基板(∼ 600 mm)の平面形状測定● ナノレベルの測定精度角度測定に基づく形状測定システムにより大口径かつ高精度な形状測定を目指す‫ ۔‬ᐃ⠊ᅖɌ600mm䜎䛷䛾ᙧ≧ ᐃ‫۔‬ᖹ㠃䛛䜙ᩘm⛬ᗘ䜎䛷䛾᭤⋡䜢ᣢ䛴⾲㠃ᙧ≧䛾 ᐃ‫ ۔‬ᐃᑐ㇟䠖䜺䝷䝇䞉䝉䝷䝭䝑䜽䝇䞉䝅䝸䝁䞁➼䠄ప཯ᑕ4%䡚㧗཯ᑕ⋡䠅‫۔‬䝘䝜䝺䝧䝹䛾 ᐃ⢭ᗘ䖩ᶓ㍈䠄㉮ᰝᖜ䠅䜒㧗⢭ᗘ䛻 㛗䛩䜛䛣䛸䛜ྍ⬟䛷䛒䜛ᮏ䝅䝇䝔䝮䛾≉ᚩ䜢⏕䛛䛧䚸↔Ⅼ㊥㞳䛾㛗䛔᭤㠃䛾㧗⢭ᗘ⤯ᑐ᭤⋡ ᐃ䛺䛹䜈䛾㐺⏝䜒ᮇᚅ䛷䛝䜎䛩● キ ー ワ ー ド:計量標準、平面基板、シリコンウェハー● 連 携 先 業 種:製造業(機械)、製造業(精密機器)尾藤 洋一・近藤 余範工学計測標準研究部門連絡先:計量標準総合センター研究拠点:つくば