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材料・プロセス【計測・評価】
計量標準総合センター ナノ変形の精密測定を実現！ホログラフィとモアレを融合させた 3 次元計測● ミクロン∼センチサイズまでの物体の高精度 3 次元計測● AFM 並みの精度で動的ナノ計測が可能● 透過型・反射型物体両方を高精度で計測可能高精度3次元計測システム۔┦䝅䝣䝖䝕䝆䝍䝹䝩䝻䜾䝷䝣䜱⨨䛾㛤Ⓨ۔䝰䜰䝺⦤ἲ䛻䜘䜛┦䝅䝣䝖䛪䜜᳨ฟἲ䛾㛤Ⓨィ ᑐ㇟位相シフトデジタルホログラフィの高精度化۔䝜䜲䝈䜢90䠂௨ୖ㝖ཤ۔㧗⢭ᗘ3ḟඖᙧ≧䛾ィ 䜢ᐇ⌧۔䝘䝜䜸䞊䝎䞊䛾⇕ኚᙧศᕸィ 䜢ᐇ⌧● キ ー ワ ー ド：3 次元計測、位相イメージング、デジタルホログラフィ、計測技術● 連 携 先 業 種：製造業（電気機器）、製造業（精密機器）夏 鵬・王慶華・李志遠・津田分析計測標準研究部門連絡先：計量標準総合センター研究拠点：つくば浩
