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ＩｏＴ/CPS【情報・通信・センシング技術】
IoT 時代の汎用光回路プラットフォーム高精度シリコン加工技術を用いた大規模集積光回路●●シリコン半導体加工技術による超小型・低消費電力光デバイスの大規模集積●● 独自の後工程技術による光デバイスの高性能化および高機能化●●デバイス製造からシステム応用までをカバーした産業エコシステムの構築研究のねらい情報流通ネットワークは現在、年率20～30 %の成長を続けていますが、来るべきIoT社会ではさらなる爆発的な成長が予想されています。このような爆発的な成長は経済的にも環境・エネルギー的にも許容できません。そこで本研究グループでは、情報流通ネットワークの基幹部品である光デバイスの劇的な小型化、低消費電力化、経済化を可能とするシリコンフォトニクス技術を確立し、これを産業展開することにより、持続成長可能な情報流通システムの実現に寄与することを目標としています。研究内容・シリコンフォトニクスデバイス基盤技術微細加工性と量産性に優れるシリコン半導体技術を用い、小型でエネルギー効率の良いシリコン系光デバイスの設計・製造技術の研究を進めています。・シリコンフォトニクス高機能化技術低温薄膜形成技術などの独自の後工程技術を適用した低損失光ファイバ結合や高効率光変調器など、シリコンフォトニクスの高度化技術の研究を進めています。・シリコンフォトニクス産業エコシステム構築光デバイスメーカやシステム応用企業と連携し、シリコンフォトニクスの産業展開体制の構築を進めています。産総研スーパークリーンルームによるシリコン系光デバイス集積連携可能な技術・知財・シリコンフォトニクスデバイス製造技術 低損失導波路、波長フィルタ、光変調器など・シリコンフォトニクスデバイス設計技術 高効率光変調器など・シリコン光導波路低損失ファイバー結合技術 低損失スポットサイズ変換器など・集積光デバイス評価技術 受動デバイス、光変調器、受光器など連携可能な光デバイス技術の例● 関連技術分野：光デバイス技術、光電子融合技術、情報ネットワーク技術● 連 携 先 業 種：製造業（電気機器）、情報・通信業
