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2016年

研究テーマ

IoT/CPS【設計・製造技術】

ミニマルファブは装置開発から使うフェーズへ
ミニマルファブは装置開発から使うフェーズへミニマルファブで作るカスタムメイドデバイス●● 完全密閉シャトルによりクリーンルーム不要●● 短ターンアラウンドタイムでデバイス試作を加速●● 0.5 ミクロン以上の試作に対応ミニマル製造装置は主要32機種中24機種が製品化CMOS回路、MEMS関連試作が可能なレベルにミニマル装置でデバイス試作をスピーディーにミニマルファブと既存ファブを併用して試作したCMOS回路とリングオシレータ約80のCMOS回路の動作を確認。小規模な回路が動作可能なレベルを実証。ミニマル露光機の限界を引き出して試作したイメージセンサーバックプレーンその他、GaAs系レーザー、カンチレバー、深掘り3D構造、各種高機能ダイオード、Si系光導波路などの試作が可能● 関連技術分野:半導体、デバイス、省エネルギー、省資源● 連 携 先 業 種:製造業(電気機器)