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材料・プロセス【計測・評価】
濃度 10 億分の 1 の水分をリアルタイム測定高速・高感度・高精度なガス中水分計測技術の開発●● 0.005 nmol/mol (0.005 ppb)レベルのガス中微量水分の検出技術●● 国際単位系 (SI) に繫がる信頼性の高い計測技術●● 科学実験・産業用途の高純度ガス中の高速水分測定キャビティリングダウン分光システムキャビティリングダウン分光システム長さ60 cmの光学キャビティと反射率99.994 %のミラーを使って長さ60cmの光学キャビティと反射率99.994%のミラーを使って有効光路長10 kmを実現（反射回数1万6千回以上）。有効光路長10 kmを実現（反射回数1万6千回以上）。水の近赤外吸収スペクトル水の近赤外吸収スペクトルモル分率約13 nmol/mol(13 ppb)の窒素中水分を測定（大気圧下の露点モル分率約13nmol/mol(13ppb)の窒素中水分を測定（大気圧下の露点約-100 ℃に相当）。フィッティングの残差（標準偏差）は約0.005ppbに相当。約-100 ℃に相当）。フィッティングの残差（標準偏差）は約0.005 ppbに相当。● 関連技術分野：水分計、光計測、分析技術● 連 携 先 業 種：製造業（電気機器）、製造業（化学）、製造業（医薬品）
