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2016年

研究テーマ

材料・プロセス【計測・評価】

見える化でプロセスの高度化と信頼性確保を支援
見える化でプロセスの高度化と信頼性確保を支援プラズマプロセスを最適化する診断技術●●プラズマと薄膜材料をその場でリアルタイム診断●●プロセスの信頼性向上と異常の早期検出●●プロセス最適化作業を大幅にスピードアップ研究の背景プラズマプロセスは、種々のモノづくり産業を支える基本ツール。プロセスに対し、信頼性の向上と最適化作業の短縮が要求。研究のねらいプロセスの“見える化”を実現(プラズマとプロセス材料をその場でリアルタイム評価)⇒高度なプロセス制御が可能に!཯ᛂᐜჾཎᩱ䜺䝇;^ŝ,ϰ͕,ϮͿ㉁㔞ศᯒプロセス診断装置㟁ᏊⓎගศග䜲䜸䞁๓㌣య;䝷䝆䜹䝹Ϳ䝫䞁䝥Ͳ䝥䝻䞊䝤ἲ䠄㟁ὶィ 䠅䠝ศග䜶䝸䝥䝋㉥እ྾཰ศගプラズマᇶᯈ;䜴䜶䝝Ϳ太陽電池デバイス● 関連技術分野:半導体、太陽電池、プラズマ、診断● 連 携 先 業 種:製造業(電気機器)