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エネルギー・環境【パワーエレクトロニクス】
エネルギー・環境領域 半導体特性の最高峰「ダイヤモンド」究極の電力制御を目指したダイヤモンドデバイス2● 世界最大 40×60 mm 接合型単結晶ウェハを実現● ダイヤモンドMESFET で最高動作温度 450℃、積算放射線耐量 10MGy を実現● 反転層チャネルダイヤモンド MOSFET の動作実証に世界で初めて成功大型単結晶ダイヤモンドウェハ۔䡞䝎䜲䝺䜽䝖䜴䜵䝝䡟ᢏ⾡䜢㛤Ⓨ䚹䝎䜲䝲䝰䞁䝗䜴䜵䝝䛾㔞〇㐀䛻┠㏵䚹۔䝁䝢䞊䜴䜵䝝䛾᥋ྜᢏ⾡䜢㛤Ⓨ䛧䚸䠎䜲䞁䝏䛾᥋ྜᆺ䜴䜵䝝䜢ᐇ⌧䚹耐環境ダイヤモンド半導体デバイス۔᭱㧗ືస ᗘ450Υ䚸✚⟬ᨺᑕ⥺⪏㔞10MGy䛾MESFET䜢ᐇ⌧䚹۔ཎᏊ⅔䜔⯟✵Ᏹᐂ䛺䛹䛾ཝ䛧䛔⎔ቃ䛷䜒ⴭ䛧䛔ᛶ⬟ຎ䜢㉳䛣䛥䛺䛔༙ᑟయ䚹ダイヤモンドMOSトランジスタ۔䝬䜲䜽䝻Ἴ䝥䝷䝈䝬ᏛẼ┦ᡂ㛗ἲ䛻䜘䜛nᆺ䝎䜲䝲䝰䞁䝗༙ᑟయ䛾㧗ရ㉁䚹۔䜴䜵䝑䝖䜰䝙䞊䝹䛻䜘䜚㓟⭷䛸䝎䜲䝲䝰䞁䝗⏺㠃䛾㧗ရ㉁䜢ᐇ⌧䚹۔㌿ᒙ䝏䝱䝛䝹䝎䜲䝲䝰䞁䝗MOSFET䛾ືసᐇド䛻ୡ⏺䛷ึ䜑䛶ᡂຌ䚹● キ ー ワ ー ド：パワーエレクトロニクス、パワー半導体、ダイヤモンド、半導体プロセス● 連 携 先 業 種：製造業（機械）、製造業（電気機器）、製造業（精密機器）、製造業（化学）牧野 俊晴・杢野 由明先進パワーエレクトロニクス研究センター連絡先：エネルギー・環境領域研究拠点：つくば、関西
