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エネルギー・環境【パワーエレクトロニクス】

半導体特性の最高峰「ダイヤモンド」
エネルギー・環境領域 半導体特性の最高峰「ダイヤモンド」究極の電力制御を目指したダイヤモンドデバイス2● 世界最大 40×60 mm 接合型単結晶ウェハを実現● ダイヤモンドMESFET で最高動作温度 450℃、積算放射線耐量 10MGy を実現● 反転層チャネルダイヤモンド MOSFET の動作実証に世界で初めて成功大型単結晶ダイヤモンドウェハ‫۔‬䡞䝎䜲䝺䜽䝖䜴䜵䝝໬䡟ᢏ⾡䜢㛤Ⓨ䚹䝎䜲䝲䝰䞁䝗䜴䜵䝝䛾኱㔞〇㐀䛻┠㏵䚹‫۔‬䝁䝢䞊䜴䜵䝝䛾᥋ྜᢏ⾡䜢㛤Ⓨ䛧䚸䠎䜲䞁䝏኱䛾᥋ྜᆺ䜴䜵䝝䜢ᐇ⌧䚹耐環境ダイヤモンド半導体デバイス‫۔‬᭱㧗ືస ᗘ450Υ䚸✚⟬ᨺᑕ⥺⪏㔞10MGy䛾MESFET䜢ᐇ⌧䚹‫۔‬ཎᏊ⅔䜔⯟✵Ᏹᐂ䛺䛹䛾ཝ䛧䛔⎔ቃ䛷䜒ⴭ䛧䛔ᛶ⬟ຎ໬䜢㉳䛣䛥䛺䛔༙ᑟయ䚹ダイヤモンドMOSトランジスタ‫۔‬䝬䜲䜽䝻Ἴ䝥䝷䝈䝬໬ᏛẼ┦ᡂ㛗ἲ䛻䜘䜛nᆺ䝎䜲䝲䝰䞁䝗༙ᑟయ䛾㧗ရ㉁໬䚹‫۔‬䜴䜵䝑䝖䜰䝙䞊䝹䛻䜘䜚㓟໬⭷䛸䝎䜲䝲䝰䞁䝗⏺㠃䛾㧗ရ㉁໬䜢ᐇ⌧䚹‫཯۔‬㌿ᒙ䝏䝱䝛䝹䝎䜲䝲䝰䞁䝗MOSFET䛾ືసᐇド䛻ୡ⏺䛷ึ䜑䛶ᡂຌ䚹● キ ー ワ ー ド:パワーエレクトロニクス、パワー半導体、ダイヤモンド、半導体プロセス● 連 携 先 業 種:製造業(機械)、製造業(電気機器)、製造業(精密機器)、製造業(化学)牧野 俊晴・杢野 由明先進パワーエレクトロニクス研究センター連絡先:エネルギー・環境領域研究拠点:つくば、関西